エッチングとは？

三省堂 大辞林

エッチング ［0］ 【etching】

①

銅板の表面に一種の蠟（ろう）で防食層を作り，針などで書画を描いて銅を露出させ，硝酸などで腐食させて印刷用の凹（おう）版を作る技法。また，その版による印刷物。腐食銅版画。

②

集積回路の製造で，写真技術により基盤に回路を写し，不要な部分を除去する工程。

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走査電子顕微鏡基本用語集

エッチング　etching

断面観察の時に、組成の違い、結晶方位の違いなどによる腐食速度の違いを利用して、試料の組織を浮き出させる化学処理。化学的な方法の他、イオンによるスパッタ速度の違いを利用する場合もある。

関連する用語

• コントラスト付け

透過電子顕微鏡基本用語集

エッチング

【英】：etching

固体表面から表面原子を化学的、物理的反応を利用して選択的に取り除くこと。

関連する用語

• イオンエッチング
• 研磨

説明に「エッチング」が含まれている用語

• 化学研磨

製造業技術用語集

エッチング

読み方：エッチング
【英】：etching

エッチングとは、腐食作用を利用した表面加工技術。使う部分に防食処理をし、エッチング剤で不要部分を除去する。主に金属の微細加工や半導体の薄膜形成用途として使われている。エッチングの手法として、薬液を使うウェットエッチングと、ガスを使うドライエッチングがある。

■ 関連技術

スラグ用語集

エッチング

読み方：えっちんぐ
【英】：etching

クリンカーまたはセメントペースト硬化体の表面を酸またはアルカリ処理することをいう。生成している結晶を反射顕微鏡で見るときに行われる。

機械加工技術用語集

エッチング

エッチングとは、金属の表面や形状を、化学的あるいは電気化学的に溶解除去し、それを表面処理を含めた広義の加工技術とすることである。エッチングはすなわち化学加工の一種であり、主に金属表面に希望のパターン形状を得るために行われる。
　 エッチングの代表的な例としては電子回路のパターン製造がある。ベークライトやグラスファイバー板の表面に銅箔を張ったプリント基板上に、回路部分をマスキングして強酸のエッチング液に浸けると、銅箔のマスキングされていない部分はエッチング液の化学作用により溶け、マスキングされた部分が銅回路として残る。
　 ＬＳＩ（集積回路）など回路パターンが微細なものは、シリコンやガラス基板の上に蒸着などで生成された金属薄膜上に、フォトレジストと呼ばれる感光性の樹脂を塗布し、これに回路パターンを感光させる。フォトレジストは感光後現像することで、感光した部分を残し回路形状が得られるので、これをエッチング液で処理することによりフォトレジストの無い部分は溶け、回路が得られる。ブラウン管のシャドウマスクなども同様に、ステンレス薄板などをエッチング処理して作られる。こうしたエッチング方法をフォトエッチングと呼ぶ。
　 水溶液中の化学反応の代わりに、ガス（気相）中の反応を利用して行う場合はドライエッチングと呼ばれる。また、材料表面の微細な凹凸を凸部のみ選択的に溶解して表面を滑らかにする場合、化学研磨（chemical polishing）と称するが、技術的にはエッチングと同様である。３次元的な加工形状を求めてエッチングを行う場合は、ケミカルミリングという場合もある。
　 エッチングでは金属プレスや板金加工では困難な、薄板の加工や微細なパターン加工、高硬度の材料の加工も可能であり、力学的な加工応力も発生しないため軟らかい材料も加工できる。反面、エッチング液による溶解作用によって加工を行うため、板厚が増すとマスキング部より浸食が起こり、加工精度が低くなる。
　 このほか装飾用を目的に、ステンレスや銅板の表面にシルク印刷を行い、その上からエッチング液で浸食させて模様を付ける場合もある。

適している分野・使用事例

電子分野＝電子回路、半導体パターン、シャドウマスク。ドライエッチング＝平滑な光沢面。装飾用＝金属製ドア・エレベータ表面への装飾。

※本用語集は、索引元の東大阪市製造業支援サイト「東大阪市技術交流プラザ」において、平成１６年度委託事業で構築したコンテンツです。

材料用語

エッチング

金属・樹脂・ガラス等の表面を薬品等により腐食させ、文字・模様などを付ける方法。
ガラス表面をフッ化水素酸で腐食した物は、すりガラスと呼ばれているものです。

ガラス用語集

エッチング

ガラス表面に模様や凹凸、特殊なパターンをつける方法。
ガラスは極めて安定な物質だが、フッ酸などの特殊な溶液には溶解する。
この性質を利用し、ガラス表面に模様を付ける。

照明大辞典

エッチング

金属の表面を酸などを用いて腐食させ、浅い凹型をつくる方法。 装飾的な模様を作るほか、印刷版やプリント基板を作る場合にも使れている。

美術用語辞典

エッチング

版画の技法のひとつで､凹版画。一般的には銅板を用い､版に耐酸性の防腐剤を縫って乾かしてから、ニードル(尖った錐のようなもの)で描画し線状に防腐剤をはがし､腐食液につけてはがれた部分を腐食させ溝を作る。その版から防腐剤を取り除き溝にインクを詰めてプレスして刷る。

美術用語集

エッチング

【読み】：エッチング
【英】：ETCHING

版画技法。銅版画は、凹版を製版する技法によって直刻法と酸腐蝕法に大別できるが、これは後者の内で最も代表的なものである。エッチングの語源は「腐蝕」。まず銅板にグラウンド（防触剤）を均一にひき、ニードル等の鉄筆状のもので描画すると、描いた線の部分のみ銅板が露出される。これを酸にひたし、腐蝕時間によって線の深浅（太細）を調整する。そしてグラウンドを除去し、凹部にインキをつめ、プレス機で紙に刷り上げる。エッチングの特徴は、直刻法に比べて描画が容易であり、線の表情も腐蝕の深さによって自由に加減できることである。欧州では１３世紀頃から金属細工師が腐蝕を用いて図案の線刻を行なっている。それを応用したエッチング版画の登場は１６世紀初頭と考えられており、１７世紀にはレンブラントを頂点として数多く制作された。日本では１９３１年、西田武雄によって専門誌『エッチング』が創刊され、日本の現代銅版画の創成期における、エッチングの研究・普及に大きな役割を果たした。

ネイル用語辞典

エッジング（エッチング）

スカルプチャーを装着する際に自爪表面の光沢をファイルなどで取り去る作業のこと。＝サンディング

陶芸用語大辞典

エッチング

読み方：エッチング

硝酸や弗酸に腐食される磁器の性質を利用して、磁器表面を腐食性液体で侵食し文様を描画する装飾技法。

ウィキペディア

エッチング

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2019/02/02 06:13 UTC 版)

エッチング（英: Etching）または食刻（しょっこく）とは、化学薬品などの腐食作用を利用した塑形ないし表面加工の技法。使用する素材表面の必要部分にのみ（防錆）レジスト処理を施し、腐食剤によって不要部分を溶解侵食・食刻することで目的形状のものを得る。