化学研磨

走査電子顕微鏡基本用語集

化学研磨　chemical polishing

化学薬品を使って試料表面を鏡面状に仕上げる方法。機械研磨をした試料の表面の加工層を取り除いたり、表面の酸化膜を取り除くのに使われる。機械研磨とは裏腹であり、適用できる試料は限られる。

関連する用語

• 機械研磨

透過電子顕微鏡基本用語集

化学研磨

【英】：chemical polishing

半導体や無機化合物の試料作製に使われる方法。強酸や強アルカリを基本にした研磨液に試料を浸して試料表面を平滑に保ちながら薄膜化する。機械的なひずみを与えずに試料作製ができるのが利点。普通は選択的な溶解（エッチング）が起きないような研磨液が使われるが、半導体多層膜の特定の層を観察するときには、その層を残してほかの層を溶かすような溶液が使われる。

関連する用語

• 電解研磨
• イオンミリング

説明に「化学研磨」が含まれている用語

• イオンミリング

研磨用語集

化学研磨

かがくけんま

化学研磨は、研磨液に工作物を溶去する化学薬品を用い、工作物と工具面を擦り合わせる操作で研磨を行う。化学作用と工具面との摩擦作用などにより、光沢面に仕上げることも可能である。なお、単なる溶液中浸漬のエッチングや酸洗いとは区別する。