エッチング媒質と技術
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2022/06/18 15:58 UTC 版)
「エッチング (微細加工)」の記事における「エッチング媒質と技術」の解説
エッチャントの2つの基本タイプは、液相(ウェット)とプラズマ相(ドライ)である。それぞれいくつかの種類がある。
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