エッチングレジスト（用途による分類）
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2019/07/01 03:29 UTC 版)
「レジスト」の記事における「エッチングレジスト（用途による分類）」の解説
エッチング時の部分的保護(マスク)に用いられるレジスト。耐アルカリ・耐酸性等、エッチング時の処理薬品に応じて選択される。フォトレジストの代表的な用途の一つである。
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