メムス【MEMS】
MEMS(微小電気機械システム)
日本では91年から10年計画で始まった通産省工業技術院(現在の産業技術総合研究所)の「マイクロマシン技術研究開発プロジェクト」が事始めになりました。MEMS産業の国際競争力を高めるため、2006年には財団法人マイクロマシンセンター(東京都千代田区)のもとに「MEMS協議会」が発足。現在は大学や研究機関、企業など189のメンバーが参画し、産学官一体で活動を推進しています。
半導体が産業の「コメ」と呼ばれるのに対し、MEMSは産業の「マメ」と呼ばれています。今後はナノテクノロジーやバイオテクノロジーと融合し、「環境・省エネ」、「健康・医療」、「安全・安心」などさまざまな分野に応用範囲が広がりそうです。
私たちの暮らしに身近な応用例としては、プロジェクターの光学素子、インクジェットプリンターのヘッド部に使われる微小ノズルなどがあります。08年後半からは「iPhone」に代表されるスマートフォンの人気の高まりを受けて、MEMSベースの加速度センサーが売り上げを伸ばしています。マイクロマシンセンターによると、MEMSデバイスの国内市場規模は10年1兆1700億円、15年2兆円超へと成長する見込みです。
MEMSの最先端研究開発拠点創設に向けて、09年秋には産学官協同プロジェクトが動き出します。11年にもMEMSデバイスの設計・試作に対応可能なジャパンメムス高度化コンソーシアム(JMEC、仮称)が茨城県つくば市で立ち上がります。資金力の乏しい中小企業やベンチャーでもMEMSビジネスへの取り組みが容易になり、海外から優秀な頭脳を呼び込む効果も期待できます。また日本の得意分野である製造装置技術とゲーム機やロボットなどアプリケーション開発力の連携強化が図れ、MEMSビジネスを展開しやすくなります。
マイクロマシンセンターは7月末に東京ビッグサイト(東京都江東区)で「第20回マイクロマシン/MEMS展」を開催しましたが、ウシオ電機、オリンパス、パナソニック電工、ファナック、三菱電機など国内外252社・団体が出展、多くの来場者でにぎわい、今後の市場の広がりを予感させました。
米国映画「ミクロの決死圏」(1966年制作)では、暗殺未遂により脳内出血を起こした要人の命を救うため、縮小光線を用いて医療チームを乗せた潜航艇をミクロ化し、要人の体内に注入します。MEMSは映画のテーマであるミクロな世界へ寄せる人類の夢を実現する技術といえます。
(掲載日:2009/08/24)
MEMS
MEMS
MEMS
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2023/08/28 07:40 UTC 版)
MEMS(メムス、Micro Electro Mechanical Systems)は、機械要素部品、センサ、アクチュエータ、電子回路を一つのシリコン基板、ガラス基板、有機材料などの上に微細加工技術によって集積化したデバイスを指す。プロセス上の制約や材料の違いなどにより、機械構造と電子回路が別なチップになる場合があるが、このようなハイブリッドの場合もMEMSという。
注釈
出典
- ^ James B. Angell; Stephen C. Terry; Phillip W. Barth (April 1983). “Silicon Micromechanical Devices”. サイエンティフィック・アメリカン 248 (4): 44 - 55.
- ^ J.B.エンジェル、S.C.テリー、P.W.バース「シリコン基板に組み込んだマイクロセンサー」『サイエンス』、日経サイエンス社、1983年6月号、18頁。
- ^ Nathanson, H.C. Newell, W.E. Wickstrom, R.A. Davis, J.R., Jr., "The resonant gate transistor," IEEE Transactions on Electron Devices, 1967, Volume 14, Issue 3 On pages 117- 133
- ^ 出典:MEMS関連市場の現状と将来予測について。マイクロマシンセンター:http://mmc.la.coocan.jp/research/market/market2007/market2007.html
- ^ [1]
- ^ Grayson, Amy C. Richards, et al. "[Grayson, Amy C. Richards, et al. "A BioMEMS review: MEMS technology for physiologically integrated devices." Proceedings of the IEEE 92.1 (2004): 6-21. A BioMEMS review: MEMS technology for physiologically integrated devices.]" Proceedings of the IEEE 92.1 (2004): 6-21.
- ^ Saliterman, Steven S. Fundamentals of BioMEMS and medical microdevices. Bellingham, WA: Wiley-Interscience, 2006.
MEMS
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2022/05/18 17:45 UTC 版)
MEMS(メムス)は「Mansion Energy Management System」の略で、マンションエネルギー管理システムを指す。マンション内の電力消費量をスマートメーターなどで計測、見える化を行い、空調や照明設備等の制御や、デマンドを抑制することで電力消費量を制御するシステムのこと。MEMSは家庭用のHEMSとビルのBEMS、両方の機能を併せ持ったエネルギー管理システムであり、住戸など専有部の電力消費量を見える化・制御するデマンドレスポンスはHEMSに近く、共有部の照明や空調などの制御はBEMSに近い。 MEMSにおけるエネルギー管理を行う企業をMEMSアグリゲータと呼び、アグリゲータはマンションの各住居や、共用部の空調・照明などの電力を、受電設備や管理システムを通し見える化・管理を行う。なお、ビルにおけるBEMS導入を目的としたBEMSアグリゲータとは異なる。 2013年経済産業省はスマートマンションを推進する政策の一つとして、MEMSに対する補助金130億円の交付を決め、対象となるMEMSアグリゲータの募集を開始した。経済産業省の外郭団体『環境共創イニシアチブ』(SII)が2014年までに26社を認定した。2015年1月、予算額に達したためSIIが募集を終了した。
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MEMS(Micro Electro Mechanical System)
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2018/03/20 05:30 UTC 版)
「アダマンド」の記事における「MEMS(Micro Electro Mechanical System)」の解説
MEMS製品の開発→試作→量産OEM製造に至るフルファンダリーサービスを、カナダのMicralyne社の総委託加工先として開始。2013年からは、同社とMEMSベースの光学センサーシステムの共同開発に合意。ファイバ組立技術を軸に、堅牢なMEMSチップ構造に加え、独自の溶接技術を用いて金属パッケージ内にて機密封止を行い、VOA(Variable Optical Attenuator)や光スイッチを始めとした光通信用デバイスの製造・販売。
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