MEMSジャイロスコープ
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2022/03/04 09:28 UTC 版)
「振動型ジャイロスコープ」の記事における「MEMSジャイロスコープ」の解説
多くの振動型ジャイロスコープはMEMS技術で製造されるようになり、均一の性能と品質が安価で実現し広く利用可能になった。（2010年4月現在、大量購入時の価格は、3軸ジャイロが1サンプルあたり約3ドル以下、1軸ジャイロは1ドル台である。）これらは、他の集積回路と同時にパッケージされ、アナログ出力あるいはデジタル出力を提供する。多くの場合、一つのデバイス内部に複数の軸のジャイロセンサを含み、いくつかのデバイスはジャイロスコープと加速度計の両方を1パッケージ化し完全な6自由度の出力を有する。基本的に、MEMSジャイロスコープとはフォトリソグラフィ技術を使用して構成された後述のような音叉型、振動ホイール型など様々な形状の振動子を持った角速度センサのことを指す。
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