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SEM


走査電子顕微鏡(セム)

略語:SEM
【英】:scanning electron microscope

バルク試料の表面を微小電子プローブで走査し、表面から放出される二次電子や反射電子を検出器で受け、その強度をプローブ走査に同期させて、コンピュータモニタ上に輝点列の像として表示する電子顕微鏡。二次電子からバルク試料表面の微細な構造や形態が、反射電子から組成の違いを観察できる。EDSやWDSをはじめとする様々な分析機能を付加して使われている。SEMの分解能を決める重要な要素は入射ビームの試料上でのプローブサイズである。プローブサイズを小さくするには第一に電子源の大きさを小さくすることである。搭載されている電子銃が冷陰極型電解放出型電子銃,ショットキー型電子銃,LaB6電子銃,タングステン電子銃の順でプローブサイズは大きくなる。第二に対物レンズのタイプによって絞れるビームサイズが決まる。対物レンズには1)アウトレンズ、2)シュノーケルレンズ、3)インレンズがある。アウトレンズ型では大きな試料を傾斜しても像が得られるように、試料を対物レンズの下方に置く。試料に対する制限がゆるい代わりにレンズの焦点距離が長くなり小さいビームは得られにくい。インレンズ型ではTEMのように対物レンズ中に試料を挿入する。焦点距離を短くでき小さなプローブが得られる。ただし、試料の大きさは数mmに制限される。シュノーケル型(潜水用具に形が似ていることによる命名)は前二者の中間的存在で、試料はレンズの下に置かれ,比較的小さいプローブと比較的大きい試料を扱えるように設計されている。低い加速電圧では色収差の効果により分解能は下がる。分解能は加速電圧20〜30kVで定義されている。分解能の具体的数値は,超高分解能型で約1nm、汎用型で10nm程度。Csコレクタ、Ccコレクタを使用すると入射ビームの微小化が可能であるが、取り込み角が大きくなるために焦点深度が浅くなりすぎる欠点がある。入射電子の加速電圧を下げると電子の進入深さが減り,反射電子によって生成される二次電子の空間的な広がりが減るために像のコントラストが向上する。低加速の利点はバックグラウンドの減少のほかに帯電の減少、試料損傷の減少がある。SEMでは帯電が像の質を落とす。入射電子量が流出電子量を上回ると帯電が起き、像が乱れ異常なコントラストが形成される。非伝導性試料の場合には,帯電防止のために貴金属やAl,Cのコ−ティングが行われる。低真空SEMではコーティングなしに非伝導性試料を観察できる場合もある。

関連する用語


走査電子顕微鏡(セム)

略語:SEM
【英】:scanning electron microscope

バルク試料の表面を微小電子プローブで走査し、表面から放出される二次電子や反射電子を検出器で受け、その強度をプローブ走査に同期させて、コンピュータモニタ上に輝点列の像として表示する電子顕微鏡。二次電子からバルク試料表面の微細な構造や形態が、反射電子から組成の違いを観察できる。EDSやWDSをはじめとする様々な分析機能を付加して使われている。SEMの分解能を決める重要な要素は入射ビームの試料上でのプローブサイズである。プローブサイズを小さくするには第一に電子源の大きさを小さくすることである。搭載されている電子銃が冷陰極型電解放出型電子銃,ショットキー型電子銃,LaB6電子銃,タングステン電子銃の順でプローブサイズは大きくなる。第二に対物レンズのタイプによって絞れるビームサイズが決まる。対物レンズには1)アウトレンズ、2)シュノーケルレンズ、3)インレンズがある。アウトレンズ型では大きな試料を傾斜しても像が得られるように、試料を対物レンズの下方に置く。試料に対する制限がゆるい代わりにレンズの焦点距離が長くなり小さいビームは得られにくい。インレンズ型ではTEMのように対物レンズ中に試料を挿入する。焦点距離を短くでき小さなプローブが得られる。ただし、試料の大きさは数mmに制限される。シュノーケル型(潜水用具に形が似ていることによる命名)は前二者の中間的存在で、試料はレンズの下に置かれ,比較的小さいプローブと比較的大きい試料を扱えるように設計されている。低い加速電圧では色収差の効果により分解能は下がる。分解能は加速電圧20〜30kVで定義されている。分解能の具体的数値は,超高分解能型で約1nm、汎用型で10nm程度。Csコレクタ、Ccコレクタを使用すると入射ビームの微小化が可能であるが、取り込み角が大きくなるために焦点深度が浅くなりすぎる欠点がある。入射電子の加速電圧を下げると電子の進入深さが減り,反射電子によって生成される二次電子の空間的な広がりが減るために像のコントラストが向上する。低加速の利点はバックグラウンドの減少のほかに帯電の減少、試料損傷の減少がある。SEMでは帯電が像の質を落とす。入射電子量が流出電子量を上回ると帯電が起き、像が乱れ異常なコントラストが形成される。非伝導性試料の場合には,帯電防止のために貴金属やAl,Cのコ−ティングが行われる。低真空SEMではコーティングなしに非伝導性試料を観察できる場合もある。

関連する用語

説明に「走査電子顕微鏡」が含まれている用語


SEM

別名:えすいーえむ

電子波の波長の短いことを利用した電子線の電子光学的結像によって、光学顕微鏡では不可能な試料の高倍率、高分解能の像をうる電子顕微鏡の一種である。試料上を電子線探針で走査し、試料からの透過あるいは反射電子の強弱を探針と同期して走査している観察上ブラウン管の像面上で見る。分解能は探針の大きさで決まり、10nm程度までできる。

走査型電子顕微鏡


Sem

名前 セム; ゼム

SEM

出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2024/06/27 08:34 UTC 版)

SEM


S.E.M

出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2022/06/04 08:48 UTC 版)

「アイドルマスター SideM」の記事における「S.E.M」の解説

読みは「セム」。元教師で構成されたユニット。リーダーは硲道夫。メンバーは同じ学校の教師。チームカラーは ピンク。 硲 道夫(はざま みちお) 声 - 伊東健人 誕生日 - 1月13日 / 年齢 - 32歳 / 星座 - 山羊座 / 血液型 - AB型 / 利き手 - 左 / 出身地 - 淡路島 / 身長 - 178cm / 体重 - 65kg / 靴のサイズ - 26.5cm / 属性 - インテリ 元数学教師。趣味は掃除とパズル、特技は円周率の暗唱。生徒達に夢を与え、勉強への意欲を芽生えさせるためにアイドルを目指した。高校生の妹がいる。本作のアイドルの中では最年長。 教師時代は舞田曰く「教え方が早くて上手い」ことで評判だった。だが、生徒には授業が退屈と思われることもあり、それに対して自分なりに授業を楽しませようと工夫をしていたが空回りしていた。そんな中、高校の文化祭に招待されたJupiterに熱狂する生徒たちの姿を目の当たりにしたことで、生徒を導くのは教師ではなく、生徒たちが熱中する存在であるアイドルだと考え、アイドルに転向した。 舞田 類(まいた るい) 声 - 榎木淳弥 誕生日 - 8月8日 / 年齢 - 23歳 / 星座 - 獅子座 / 血液型 - B型 / 利き手 - 両 / 出身地 - 横須賀 / 身長 - 170cm / 体重 - 58kg / 靴のサイズ - 25.5cm / 属性 - メンタル 元英語教師。趣味はスキー、スノボ、サーフィン、特技はけん玉。硲に誘われ、教師よりもエキサイティングな人生が送れるかもしれないと考えてアイドルとなった。 英語交じりの口調が特徴。山下とは家が隣同士で、夕食を食べに家に行くこともあるという。北斗とは同じ大学のテニスサークルに所属していた。 山下 次郎(やました じろう) 声 - 中島ヨシキ 誕生日 - 9月1日 / 年齢 - 30歳 / 星座 - 乙女座 / 血液型 - O型 / 利き手 - 右 / 出身地 - 石川| / 身長 - 185cm / 体重 - 70kg / 靴のサイズ - 27cm / 属性 - インテリ 元化学教師。趣味は猫カフェめぐりと競馬、特技はラジオ体操。硲に誘われ、大金を稼げるかと考えてアイドルになった。

※この「S.E.M」の解説は、「アイドルマスター SideM」の解説の一部です。
「S.E.M」を含む「アイドルマスター SideM」の記事については、「アイドルマスター SideM」の概要を参照ください。

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