陰極線
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陰極線（いんきょくせん、英: Cathode ray）とは、真空管の中で観察される電子の流れである。真空に排気されたガラス容器に一対の電極を封入して電圧をかけると、陰極（電源のマイナス端子に接続された電極）の逆側にある容器内壁が発光する。その原因は陰極表面から電子が垂直に撃ち出されることによる。この現象は1869年にドイツの物理学者ヴィルヘルム・ヒットルフによって初めて観察され、1876年にオイゲン・ゴルトシュタインによってKathodenstrahlen（陰極線）と名付けられた[1][2]。近年では電子線や電子ビームと呼ばれることが多い。
- ^ E. Goldstein (1876-5). “Vorläufige Mittheilungen über elektrische Entladungen in verdünnten Gasen (Preliminary communications on electric discharges in rarefied gases)”. Monatsberichte der Königlich Preussischen Akademie der Wissenschaften zu Berlin (Monthly Reports of the Royal Prussian Academy of Science in Berlin). pp. 279-295 2016年10月15日閲覧。, "13. Das durch die Kathodenstrahlen in der Wand hervorgerufene Phosphorescenzlicht ist höchst selten von gleichförmiger Intensität auf der von ihm bedeckten Fläche, und zeigt oft sehr barocke Muster." (13. The phosphorescent light that's produced in the wall by the cathode rays is very rarely of uniform intensity on the surface that it covers, and [it] often shows very baroque patterns.)
- ^ Joseph F. Keithley (1998). The story of electrical and magnetic measurements: from 500 B.C. to the 1940s. John Wiley and Sons. p. 205. ISBN 0-7803-1193-0
- ^ Michael Faraday (1838). [url=https://books.google.com/books?id=ypNDAAAAcAAJ&pg=PA125 “Experimental researches in electricity. — Thirteenth series”]. Philosophical Transactions of the Royal Society of London 128: 125-168 2016年10月15日閲覧。.
- ^ Thomson, J. J. (1901). “On bodies smaller than atoms”. The Popular Science Monthly (Bonnier Corp.) (August 1901): 323–335 2016年10月15日閲覧。.
- ^ 炭素繊維複合材料の電子線硬化研究
- ^ 次世代航空機用構造部材創製・加工技術開発
電子線
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「エネルギー分散型X線分析」の記事における「電子線」の解説
表面から数um程度までの分析ができ、表面近傍の分析ができる。電子線は試料中を拡散するため、プローブ径が小さくても数um～数百um程度まで広がることがあるので、走査型電子顕微鏡や透過型電子顕微鏡で用いる場合は、注意が必要な場合がある。
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電子線
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「マスクレス リソグラフィ」の記事における「電子線」の解説
詳細は「電子線リソグラフィ」を参照 現在、最も一般的に使用されるマスクレスリソグラフィーは電子線リソグラフィである。加速した電子線(~10 eV to ~100 keV)によって幅広い用途に対応できる。これは既にウエハーレベルでeASIC（英語版）社の量産の製造工程の一部に使用され、通常は電子線直接描画で低費用でASICを製造する目的で使用される。 大半のマスクレスリソグラフィーシステムは現在マルチパイル電子線の使用を元に開発された。目標は複数の平行のビームで大面積の露光を速やかにする事である。しかしながら、(クーロンの法則により)隣接するビームが互いに影響するので困難である。
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