エネルギー分散型X線分析

ウィキペディア

エネルギー分散型X線分析

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2023/11/15 02:02 UTC 版)

エネルギー分散型X線分析（エネルギーぶんさんがたXせんぶんせき、Energy dispersive X-ray spectroscopy、EDX、EDS）は、広義の意味として、電子線やX線などの一次線を物体に照射した際に発生する特性X線（蛍光X線）を半導体検出器に導入し、発生した電子-正孔対のエネルギーと個数から、物体を構成する元素と濃度を調べる元素分析手法である。