分析領域

走査電子顕微鏡基本用語集

分析領域（解析領域）　analysis area,analysis volume

特性X線、オージェ電子、カソードルミネッセンスなどの分析信号発生領域。EBSDなどでは解析領域という用語が使われる。入射した電子が試料内部で拡散するため、分析領域は電子プローブ径に比べて大きくなるのが普通であるが、分析に使う信号の発生機構も大きく影響する。平面的な領域を意味する場合と分析深さを意味する場合がある。特性X線の場合、平面的な領域、分析深さとも数百nm〜数µmであるが、オージェ電子の場合、平面的な領域は数十nm、分析深さは数nmとなる。

関連する用語

• 特性X線
• オージェ電子
• カソードルミネッセンス
• 電子プローブ径
• 空間分解能
• 拡散領域

透過電子顕微鏡基本用語集

分析領域

【英】：analysis region

EDSでのの大きさ（空間分解能）は、入射ビーム径に加えて加速電圧、試料の厚さ、構成元素などに依存する試料内でのビームの拡がりによって決まる。加速電圧200kVのときは10〜50nm径である。試料内でのビームの拡がりは加速電圧の増加とともに減少する。

説明に「分析領域」が含まれている用語

• コンデンサー・オブジェクティブレンズ
• 分析領域

ウィキペディア小見出し辞書

分析領域

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2020/01/10 17:24 UTC 版)

「エネルギー分散型X線分析」の記事における「分析領域」の解説

分析領域は、一次線によって大きく異なる。 X線 試料中を数十um程度から数cmの深さまで侵入することができるので、バルク層の分析に使用される。また、膜厚の測定が可能である。 電子線 表面から数um程度までの分析ができ、表面近傍の分析ができる。電子線は試料中を拡散するため、プローブ径が小さくても数um～数百um程度まで広がることがあるので、走査型電子顕微鏡や透過型電子顕微鏡で用いる場合は、注意が必要な場合がある。 荷電粒子 極表面のみでの分析が可能である。