分析FESEMとは？わかりやすく解説

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走査電子顕微鏡基本用語集

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分析FESEM　analytical FESEM

単なる SEM像の観察だけでなく、EDS、WDS、EBSDなどの分析機能を備えた FESEM。分析機能を重視することから、ショットキー電子銃を搭載した FESEMをベースにするのが普通である。汎用形の分析SEMに比べて、高い解像力が得られ、高い空間分解能の分析ができる。

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