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分析領域

【英】：analysis region

EDSでのの大きさ（空間分解能）は、入射ビーム径に加えて加速電圧、試料の厚さ、構成元素などに依存する試料内でのビームの拡がりによって決まる。加速電圧200kVのときは10〜50nm径である。試料内でのビームの拡がりは加速電圧の増加とともに減少する。

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