X線光電子分光
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2019/11/03 17:44 UTC 版)
X線光電子分光(エックスせんこうでんしぶんこう)は、光電子分光の1種である。略称はXPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy) または ESCA (Electron Spectroscopy for Chemical Analysis, エスカ)。サンプル表面にX線を照射し、生じる光電子のエネルギーを測定することで、サンプルの構成元素とその電子状態を分析することができる。他にもPES、PS等とも呼ばれる。
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- 1 X線光電子分光とは
- 2 X線光電子分光の概要
- 3 装置
- 4 測定方法
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