チャージアップ

走査電子顕微鏡基本用語集

帯電現象（チャージアップ）　charging phenomenon,charging

非導電性試料を観察したときに起きる現象。帯電の影響によって試料に入射する電子プローブが偏向されて像が歪んだり、試料から放出されて検出器に入射する二次電子の軌道が変わることで、不安定な異常コントラストが起きることがある。

関連する用語

• 電子プローブ
• 二次電子
• 異常コントラスト
• 軌道コントラスト
• キルヒホッフの法則

ウィキペディア

チャージアップ

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2014/02/08 00:29 UTC 版)

チャージアップ(Charge Up)は、SEMあるいはESCAなどで絶縁体試料を測定している際、サンプルが帯電し適切な結果が得られなくなる現象のことである。

SEMでは、サンプルに電子線を照射して発生する2次電子を観測している。したがって、サンプル表面からは常に電子が失われ続けるため、徐々に正に帯電する。この電場の影響によって、像が白く浮き上がってみえてしまう。

ESCAでは、サンプルにX線を照射して発生する光電子を観測している。したがって、SEMの場合と同様に徐々にサンプルが正に帯電する。これにより仕事関数が大きくなるため、光電子の運動エネルギーが小さくなり、結果得られる結合エネルギーのスペクトルは高エネルギー側にシフトしてしまう。

チャージアップを防ぐには、サンプルに金を蒸着して電通をよくする、電子銃を利用して中和する、などの方法がある。

ウィキペディア小見出し辞書

チャージアップ

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2022/01/03 08:52 UTC 版)

「マイク・バイソン」の記事における「チャージアップ」の解説

『ウルIV』のオメガエディションで実装された技。振り向きながら後退する。振り向き中は飛び道具無敵。弾速の遅い飛び道具は振り向き終了の瞬間でもガードが可能。