出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2019/11/03 17:44 UTC 版)
固体表面を、アルゴンやキセノンなどの希ガスイオンでスパッタリングしながら元素分析や状態分析を行うモード。
※この「深さ分析モード」の解説は、「X線光電子分光」の解説の一部です。
「深さ分析モード」を含む「X線光電子分光」の記事については、「X線光電子分光」の概要を参照ください。
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