真空ポンプ vacuum pump
真空ポンプ
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/11/11 17:05 UTC 版)
真空ポンプ（しんくうポンプ、バキュームポンプ、vacuum pump ）とは、容器内から気体を排出し、真空を得るためのポンプである。1650年にドイツのオットー・フォン・ゲーリケにより発明された。1台で超高真空から大気圧までをカバーするのは非常に困難なため、多くは粗引き用のポンプとメインの真空排気用のポンプを組み合わせて使うが、用途によって1台で済む場合は粗引きポンプ、メインポンプなどの呼び分けはしない。
- ^ Donald Routledge Hill, "Mechanical Engineering in the Medieval Near East", Scientific American, May 1991, pp. 64-69 (cf. Donald Routledge Hill, Mechanical Engineering)
- ^ Ahmad Y Hassan. “The Origin of the Suction Pump: Al-Jazari 1206 A.D.”. 2008年7月16日閲覧。
- ^ Donald Routledge Hill (1996), A History of Engineering in Classical and Medieval Times, Routledge, pp. 143 & 150-2
- ^ Salim Al-Hassani (23-25 October 2001). “The Machines of Al-Jazari and Taqi Al-Din”. 22nd Annual Conference on the History of Arabic Sciences. 2008年7月16日閲覧。
- ^ “The World's Largest Barometer”. 2013年10月17日閲覧。（2008年4月17日時点のアーカイブ）
- 1 真空ポンプとは
- 2 真空ポンプの概要
- 3 ポンプの種類
真空ポンプ
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2018/06/21 16:00 UTC 版)
真空凍結乾燥の真空圧力は低真空領域であるが大きな排気容量を必要とする場合が多いのと、排気される気体に大量に水分が含まれるためそれらを考慮した真空ポンプが使用される。 多くはメカニカルブースター、ロータリーポンプ、水封ポンプ、ドライポンプなどを組み合わせて使用している。 この項目は、工学・技術に関連した書きかけの項目です。この項目を加筆・訂正などしてくださる協力者を求めています（Portal:技術と産業）。
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真空ポンプ
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/10/19 08:06 UTC 版)
「分子線エピタキシー法」の記事における「真空ポンプ」の解説
チャンバー内部の気体を外部に排出するための超高真空ポンプとしては、下記のようなものが用いられる。 油拡散ポンプ 特殊な合成油をポンプ内部で超音速で噴射し、周囲の気体分子を巻き込んで移動させるものである。構造が簡単で機械的可動部が無く、大きな排気速度が得られる。反面、油の逆流によってチャンバーを汚染するおそれがあり、液体窒素トラップなどと併用されることが多い。 クライオポンプ イオンポンプ ターボ分子ポンプ 多くの羽を有する回転翼と固定翼を積層し、回転翼を高速で駆動することで、飛び交う残留ガス分子の移動確率を片方向に偏らせるものである。振動に弱い欠点がある。また、一般に水素等の軽い分子に対しては排気速度は著しく低下する。ポンプの背圧と圧縮比によってポンプ自体の到達真空度が決まる。 ソープションポンプ 残留ガス分子を吸着剤や低温バッフルを用いて吸着するものである。溜め込んだ分子は加熱するなどで定期的に排出させる。 メカニカルブースターポンプ ゲッタリングポンプ チタンなどの化学的に活性な金属を蒸発させ、内壁に蒸着する。そこに飛び込んできた分子は金属と反応して安定になるために真空度がよくなる。不活性ガスは排気ができないものの、活性ガスに対しては非常に大きな排気速度を持つ。また、完全にオイルフリーなポンプである。 ゲッタリングポンプを除き、これら超高真空ポンプは通常、さらに油回転ポンプやドライポンプなどの低真空ポンプと組み合わせて用いられる。
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真空ポンプ
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2022/05/06 05:53 UTC 版)
ディーゼルエンジンは、スロットルバルブが不要なことや吸気脈動が大きいことなどで、ガソリンエンジンと比較してインテークマニホールドでの負圧生成には適していない。そのため、真空倍力式のブレーキブースターを用いるディーゼル車では、Vベルトやギヤで駆動する専用の真空ポンプと、負圧貯蔵タンクを備えている。 このポンプの潤滑にはエンジンオイルが兼用される。
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真空ポンプ
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2019/11/03 17:44 UTC 版)
XPSでは試料の表面汚染を防ぐため、10^-7Pa以下の超高真空が必要となる。試料導入部ではターボ分子ポンプとロータリーポンプを組み合わせる。測定部ではオイルを使わないイオンポンプとチタンサブリメーションポンプなどを組み合わせる。他にも拡散ポンプやクライオポンプも使われる。
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真空ポンプ
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2020/01/01 03:31 UTC 版)
AESでは試料表面の汚染を防ぐため、10-10 Torr以下の超高真空が必要となる。試料導入部における大気排気にはターボ分子ポンプが用いられる。分析室を超高真空に維持するためにはイオンポンプやチタンサブリメーションポンプが用いられる。
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