油拡散ポンプとは?

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油拡散ポンプ(拡散ポンプ) DP: oil diffusion pump,diffusion pump

金属円筒内に置かれたノズルから油蒸気を噴き出させ、そのエネルギー気体分子圧縮排気するポンプ。油を高温蒸気にするためのヒーターと、金属円筒冷却するためのが必要である。動作圧力範囲10-510-1Pa程度であり、排気口側に油回転ポンプが繋がれている。

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油拡散ポンプ

【英】:(oil) diffusion pump

油を高温加熱し、油蒸気ノズルから高速で吹き出させ、その噴流勢いにのせて気体分子輸送するポンプ機構が簡単で安価10-1Pa真空度から使用でき、しかも排気速度大きいので、透過電子顕微鏡では排気容積大きく放出ガスが多いカメラ室の排気に用いられる。使用圧力範囲10-110-8Pa。オイルフリーの高度な真空要求する場合には使用できない水の排気不得意

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