油拡散ポンプ

デジタル大辞泉

あぶらかくさん‐ポンプ〔あぶらクワクサン‐〕【油拡散ポンプ】

読み方：あぶらかくさんぽんぷ

油を加熱した蒸気を高速で噴出させる拡散ポンプ。構造が単純で大きな排気速度が得られる。油回転ポンプと併用することが多い。油拡散真空ポンプ。

走査電子顕微鏡基本用語集

油拡散ポンプ（拡散ポンプ）　DP: oil diffusion pump,diffusion pump

金属円筒内に置かれたノズルから油蒸気を噴き出させ、そのエネルギーで気体分子を圧縮排気するポンプ。油を高温の蒸気にするためのヒーターと、金属円筒を冷却するための水が必要である。動作圧力範囲は10^-5〜10^-1Pa程度であり、排気口側に油回転ポンプが繋がれている。

関連する用語

• 油回転ポンプ

透過電子顕微鏡基本用語集

油拡散ポンプ

【英】：(oil) diffusion pump

油を高温に加熱し、油蒸気をノズルから高速で吹き出させ、その噴流の勢いにのせて気体分子を輸送するポンプ。機構が簡単で安価。10^-1Paの真空度から使用でき、しかも排気速度が大きいので、透過電子顕微鏡では排気容積が大きく放出ガスが多いカメラ室の排気に用いられる。使用圧力範囲は10^-1〜10^-8Pa。オイルフリーの高度な真空を要求する場合には使用できない。水の排気は不得意。

説明に「油拡散ポンプ」が含まれている用語

• スクロールポンプ
• ターボ分子ポンプ
• ピラニ真空計
• ペニング真空計
• 逆流（真空ポンプオイルの）
• 真空排気系
• 粗引き
• 油回転ポンプ
• 臨界背圧