油回転ポンプ

デジタル大辞泉

あぶらかいてん‐ポンプ〔あぶらクワイテン‐〕【油回転ポンプ】

読み方：あぶらかいてんぽんぷ

円筒内でローターが回転することによって順次気体を排気する真空ポンプ。気密性を高めるために油を使用する。大気圧から作動できるもっとも一般的な真空ポンプで、他の真空ポンプと併用することが多い。油回転真空ポンプ。回転ポンプ。ロータリーポンプ。

走査電子顕微鏡基本用語集

油回転ポンプ（回転ポンプ）　RP: oil rotary pump,rotary pump

可動翼を付けた回転体を油の中で回し、気体をかき出すようにして圧縮排気するポンプ。可動翼とステータあるいは回転体とステータの隙間を油でシールしている。動作圧力範囲は10^-1Pa〜大気圧程度であり、大気からの粗引きや高真空用のポンプの補助用として用いる。

関連する用語

• 粗引き

透過電子顕微鏡基本用語集

油回転ポンプ

【英】：(oil) rotary pump

油で気密状態を保った状態でロータがケース内で回転することによって吸気口からガス分子を吸入し、圧縮してその圧力で排出口にある弁を開けて、ガスを大気に放出するポンプ。大気圧(10⁵Pa)から動作するので、透過電子顕微鏡の粗引きおよび油拡散ポンプ、ターボ分子ポンプのバック側の排気に用いられる。使用圧力範囲は10⁵〜1Pa。排気限界で長時間排気すると真空槽はポンプの油の蒸気で満たされるので、長時間の排気は良くない。オイルフリーのポンプを望む場合はスクロールポンプを使う。

関連する用語

• スクロールポンプ

説明に「油回転ポンプ」が含まれている用語

• スクロールポンプ
• ターボ分子ポンプ
• 逆流（真空ポンプオイルの）
• 真空排気系
• 粗引き

ウィキペディア

ロータリーポンプ

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2024/08/07 22:51 UTC 版)

ロータリーポンプ (英語: rotary pump) は油回転真空ポンプとも呼ばれ、回転する内部の羽が気体をかき出すように排気する、真空ポンプの一種である。RPと略されることもある。

最も一般的な真空ポンプであり、種類も多く価格も全体的に安価(10万円～30万円程度)である。また、大気圧から作動させられるため超高真空が必要な際の初期粗引きや、背圧を維持するための補助ポンプ（バックポンプ）として使われる他、広く産業用に用いられている。多くは電気モーターを動力源とするが、エアタービンなどが使用される場合もある。到達真空度は 10⁻¹ Pa (10⁻³ Torr) 程度。

典型的なロータリーポンプの内部構造。上部右側のフランジが吸気口。上部左側がオイルトラップ。

油は密閉のために用いられているが、この油が蒸発して真空容器側に還流することは、容器内の機器類にとって好ましくない。このため、ポンプ油還流を嫌う装置に接続する場合はフォアライントラップ（フィルタ）をポンプと真空容器の間に挿入される場合が多い。また排気にもオイルの蒸気が含まれるので、排気口にもオイルミストトラップが必要である（これなしで長期間運転すると周囲がオイルでベトベトになる）。最近ではオイルを使用しないタイプのポンプも開発されている。使用するにつれ、また、凝縮性の高い蒸気を吸入するとこれが油に混入して性能低下をもたらすので、定期的なオイル交換が必要である。

関連項目

• 真空ポンプ

ロータリーポンプメーカー

• 日本ブッシュ