そうさせんでんしけんびきょうとは? わかりやすく解説

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走査型電子顕微鏡

読み方:そうさせんでんしけんびきょう
【英】:SEM,scanning electron microscope

電子波波長の短いことを利用した電子線電子光学的結像によって、光学顕微鏡では不可能な試料高倍率、高分解能の像をうる電子顕微鏡一種である。試料上を電子線探針走査し試料からの透過あるいは反射電子強弱探針同期し走査している観察ブラウン管の像面上で見る。分解能探針大きさ決まり、10nm程度までできる。




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