クリーン‐ルームとは? わかりやすく解説

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クリーン‐ルーム【clean room】

読み方:くりーんるーむ

壁面空気中に存在するちりの数や量を少なくするように管理してある部屋。高精密要する部品IC加工などに利用される防塵(ぼうじん)室。無塵室


クリーンルーム clean room

空気中の微細な浮遊塵埃極めて少なく、その室の要求する清浄度が常に保たれている室。 一般に温湿度にたいしても高度な管理要求される精密機械工場LSI工場病院の手術室などの用途使われる。 「無塵室」「無菌室」ともいう。

クリーンルーム

高性能フィルター除塵除菌のされた部屋のことで、多く医院ではクリーンルームで手術行ってます。 

クリーンルーム

出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2023/06/15 01:20 UTC 版)

クリーンルーム (clean room) とは、空気清浄度が確保された部屋のことである。防塵室(ぼうじんしつ)ともいう。




「クリーンルーム」の続きの解説一覧

クリーンルーム

出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2021/11/23 03:25 UTC 版)

集積回路」の記事における「クリーンルーム」の解説

半導体工場生産ラインは、それ自体巨大なクリーンルームとなっている。生物学的クリーンルームよりも、半導体製造現場のほうが遥かに清浄度が高い。ウェハー上の1つ細菌細胞は、トランジスタ100近く覆い隠す2008年先端プロセス・ルールである45nmは、ウイルス以下の大きさである。製造中の半導体は、人間がいる環境ではどこにでもあるナトリウムに大変弱く、それが絶縁膜に浸透するため、特にCMOSトランジスタには致命的欠陥になる。 半導体工場のクリーンルーム内に導入される空気は、部屋や場所ごとに設定されクリーンに応じて何度もHEPAフィルターULPAフィルターで、空中微粒子濾しとられたものが使われる。またイオン交換樹脂フィルターによって、空気同様に水中微粒子徹底的に除去され超純水使用している。 大量ナトリウム含み皮膚から大量角質細胞破片落下させ、振動もたらすヒトは、半導体プロセスにとって害をなす以外の何物でもなく、クリーンスーツ、いわゆる宇宙服”を着て製造ライン汚染しないようにしている。もっとも工場は高度に自動化されており、人間製造ライン出向くのは、機械故障といったトラブルがあった時だけである。

※この「クリーンルーム」の解説は、「集積回路」の解説の一部です。
「クリーンルーム」を含む「集積回路」の記事については、「集積回路」の概要を参照ください。


クリーンルーム

出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2022/06/18 01:16 UTC 版)

ホットセル」の記事における「クリーンルーム」の解説

ホットセルは、空気分級がDからB(Cが最も一般的)の範囲のクリーンルームに配置できる。

※この「クリーンルーム」の解説は、「ホットセル」の解説の一部です。
「クリーンルーム」を含む「ホットセル」の記事については、「ホットセル」の概要を参照ください。

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「クリーンルーム」の例文・使い方・用例・文例

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