クリーンルーム用フィルタ
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2022/02/16 06:53 UTC 版)
「HEPA」の記事における「クリーンルーム用フィルタ」の解説
クリーンルームやクリーンブース用の精密空調機器、製造装置の組込み用にHEPAフィルタを採用したファンユニットが使われる。クリーン度クラス100~10,000までに対応し、高いクリーン度を要求されるような半導体や液晶、医薬品や食品などに適している。
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