工業用クリーンルーム
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2022/05/13 06:35 UTC 版)
「クリーンルーム」の記事における「工業用クリーンルーム」の解説
電子工業用途で半導体集積回路、液晶パネル、プラズマパネル、マイクロマシンなどの製造工場においては必須となっている。これは集積回路の焼付け工程において、塵埃が隣接する回路との短絡、あるいは欠損を引き起こし不良が発生するため、清浄空間での作業が必要とされるからである。他に精密機械などの製造工場がクリーンルームとなっていることがある。このような工業品の製造工程で用いられるクリーンルームを工業用クリーンルーム(industrial clean room, ICR)という。
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