CVDとは? わかりやすく解説

シー‐ブイ‐ディー【CVD】

読み方:しーぶいでぃー

chemical vapor deposition》⇒化学気相成長法


化学気相成長法

読み方かがくきそうせいちょうほう
【英】Chemical Vapor Deposition, CVD

化学気相成長法とは、半導体集積回路IC)を製造する工程のうち、化学反応利用して基板シリコン薄膜コーティングする手法のことである。IC太陽電池基板製造する上では重要な工程のひとつである。

化学気相成長法では、シリコン電子化学的に不安定にラジカル化)させることで、電子安定化反応促進し安定化結果として基板吸着され堆積する方法とられる電子ラジカル化にはさまざまな手法があり、シリコンガス中に含ませて熱や光のエネルギー加えたり高周波によってプラズマ化したりする。このうち熱量によって原料堆積させる手法は「熱CVD」と呼ばれ光エネルギー用いるものが「光CVD」、またガスプラズマ変容させるものは「プラズマCVD」と呼ばれる。(プラズマCVD基板そのもの損傷受けやすいので扱いが難しいとされる)。

化学気相成長法によって形成される物質には、主にシリコン酸化膜やシリコン窒化膜、アモルファスシリコン薄膜などが用いられる

化学反応によって薄膜形成する化学気相成長法に対して原料物質物理的な作用加えて薄膜堆積させる手法が、物理気相成長法Physical vapor deposition,PVD)と呼ばれる物理的作用としては、直接に衝撃加えるなどの方法がある。物理気相成長法は、基板上のトランジスタのような立体構造形成する際に用いられる

電子回路のほかの用語一覧
半導体製造技術:  表面実装部品  ピエゾ駆動装置  物理気相成長法  化学気相成長法  ゲートアレイ  ゲート長  記憶素子

物理蒸着(PVD)・化学蒸着(CVD)

蒸着とは、物質高温にして蒸発させ、処理物に吸着させその表面上物質固体被膜形成する方法である。
  蒸着には大まかに物理的反応利用した物理蒸着(PVD)と、化学的反応利用した化学蒸着(CVD)の二種類がある。
  物理蒸着では、蒸発させる金属蒸発源)を加熱して気化させるその際蒸発源を気化しやすくするため、真空近くまで減圧して行う方法真空蒸着という。気化し金属は、処理物表面吸着されると、冷却されその表面固化する。こうして金属被膜形成されることとなるが、この方法は主に純金属の蒸着用いられる例えば、CDコンパクトディスク)はポリカーボネイトアルミ蒸着して作られる
  同様に減圧した容器内で、蒸発源と処理物間電圧をかけ、気化し金属イオン化して蒸着する方法イオンプレーティングといい、真空蒸着よりも密着性が高いので、工具や金型へチタンTi)やクロムCr)の蒸着を行う際良く使用される
  また、減圧容器内で蒸発源と処理物間高電圧をかけ、同時にアルゴン雰囲気保つことにより、アルゴンイオンが蒸発源(ターゲット呼ばれる)に衝突して金属原子放出され蒸着が行われる。これをスパッタリングといい、真空蒸着では困難な合金蒸着可能であるため近年その用途広がっている
  化学蒸着では、素材となる反応物質を気化させ、これを反応ガス混合して反応室内充填する反応室内で、ヒーターによって熱された処理物にガス接触すると、その熱平衡反応によって処理物表面皮膜形成される化学蒸着半導体製造不可欠な技術であるが、皮膜のつきが良いこと利して金型などへの蒸着法としても利用される
  化学蒸着においては電圧をかけることでガスプラズマ化して行う方法開発されている。

物理蒸着(PVD)・化学蒸着(CVD)

適している分野・使用事例

PVD工具へのTi合金蒸着CD記録面アルミ蒸着。CVD=半導体製造工具へのTi合金蒸着合金蒸着

用語解説

合金蒸着
蒸発源を合金とした場合含まれる元素蒸気圧差があるため、単に加熱するだけでは困難となる。
※本用語集は、索引元の東大阪市製造業支援サイト「東大阪市技術交流プラザ」において、平成16年度委託事業で構築したコンテンツです。

CVD

出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2020/10/12 21:54 UTC 版)

ナビゲーションに移動 検索に移動

CVD

一覧





固有名詞の分類


英和和英テキスト翻訳>> Weblio翻訳
英語⇒日本語日本語⇒英語
  

辞書ショートカット

すべての辞書の索引

CVDのお隣キーワード
検索ランキング

   

英語⇒日本語
日本語⇒英語
   



CVDのページの著作権
Weblio 辞書情報提供元は参加元一覧にて確認できます。

  
デジタル大辞泉デジタル大辞泉
(C)Shogakukan Inc.
株式会社 小学館
IT用語辞典バイナリIT用語辞典バイナリ
Copyright © 2005-2022 Weblio 辞書 IT用語辞典バイナリさくいん。 この記事は、IT用語辞典バイナリ化学気相成長法の記事を利用しております。
東大阪市技術交流プラザ東大阪市技術交流プラザ
Copyright (C) 2022 TECH PLAZA
ウィキペディアウィキペディア
All text is available under the terms of the GNU Free Documentation License.
この記事は、ウィキペディアのCVD (改訂履歴)の記事を複製、再配布したものにあたり、GNU Free Documentation Licenseというライセンスの下で提供されています。 Weblio辞書に掲載されているウィキペディアの記事も、全てGNU Free Documentation Licenseの元に提供されております。

©2022 GRAS Group, Inc.RSS