PVDとは? わかりやすく解説

ピー‐ブイ‐ディー【PVD】

読み方:ぴーぶいでぃー

physical vapor deposition》⇒物理気相成長法


ピー‐ブイ‐ディー【PVD】

読み方:ぴーぶいでぃー

posterior vitreous detachment》⇒後部硝子体剝離


物理気相成長法

読み方ぶつりきそうせいちょうほう
【英】Physical Vapor Deposition, PVD

物理気相成長法とは、物質表面金属の薄膜生成する手法のうち、物理的効果により被膜生成する手法のことである。

物理気相成長法では、圧力が低い状態である「高真空の中で物質気体のように原子分子レベル動ける状態(気相)にする。その中で金属原子同士をぶつけ、目的とする金属物質表面に付着させていき、金属の薄膜の層を形成していく。

物理気相成長法は、ICチップ被膜する場合などによく用られている具体的な物理気相成長法の技術としては、スパッタ法スパッタリング)などを挙げることができる。

なお、物理気相成長法以外の気相成長法としては、化学反応利用して被膜生成を行う化気相成長法(CVD)がある。

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物理蒸着(PVD)・化学蒸着(CVD)

蒸着とは、物質高温にして蒸発させ、処理物に吸着させその表面上物質固体被膜形成する方法である。
  蒸着には大まかに物理的反応利用した物理蒸着(PVD)と、化学的反応利用した化学蒸着CVD)の二種類がある。
  物理蒸着では、蒸発させる金属蒸発源)を加熱して気化させるその際蒸発源を気化しやすくするため、真空近くまで減圧して行う方法真空蒸着という。気化し金属は、処理物表面吸着されると、冷却されその表面固化する。こうして金属被膜形成されることとなるが、この方法は主に純金属の蒸着用いられる例えば、CDコンパクトディスク)はポリカーボネイトアルミ蒸着して作られる
  同様に減圧した容器内で、蒸発源と処理物間電圧をかけ、気化し金属イオン化して蒸着する方法イオンプレーティングといい、真空蒸着よりも密着性が高いので、工具や金型へチタンTi)やクロムCr)の蒸着を行う際良く使用される
  また、減圧容器内で蒸発源と処理物間高電圧をかけ、同時にアルゴン雰囲気保つことにより、アルゴンイオンが蒸発源(ターゲット呼ばれる)に衝突して金属原子放出され蒸着が行われる。これをスパッタリングといい、真空蒸着では困難な合金蒸着可能であるため近年その用途広がっている
  化学蒸着では、素材となる反応物質を気化させ、これを反応ガス混合して反応室内充填する反応室内で、ヒーターによって熱された処理物にガス接触すると、その熱平衡反応によって処理物表面皮膜形成される化学蒸着半導体製造不可欠な技術であるが、皮膜のつきが良いこと利して金型などへの蒸着法としても利用される
  化学蒸着においては電圧をかけることでガスプラズマ化して行う方法開発されている。

物理蒸着(PVD)・化学蒸着(CVD)

適している分野・使用事例

PVD=工具へのTi合金蒸着CD記録面アルミ蒸着CVD半導体製造工具へのTi合金蒸着合金蒸着

用語解説

合金蒸着
蒸発源を合金とした場合含まれる元素蒸気圧差があるため、単に加熱するだけでは困難となる。
※本用語集は、索引元の東大阪市製造業支援サイト「東大阪市技術交流プラザ」において、平成16年度委託事業で構築したコンテンツです。

PVD

出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2013/01/22 01:53 UTC 版)

PVD



ピオベルジン

(PVD から転送)

出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2021/11/28 08:24 UTC 版)

ピオベルジン(Pyoverdines、稀にpyoverdins、Pvd)とは、水溶性の黄緑の蛍光性色素の一種である化学物質である[1]。ある種のシュードモナス属菌種によって産生される蛍光性シデロホアの一種であり[2][3]、重要な病原性因子の一つである。産生主である病原菌に向けて、栄養素(鉄など)の供給、産生主の病原性因子(菌体外毒素Aやタンパク質分解酵素PrpLなど)の制御[4]バイオフィルムの形成の援助[5]、および毒性の強化[6][7][8]といった役割を持つ。


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