PVDによるDLCの成膜
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2019/03/29 02:42 UTC 版)
「ダイヤモンドライクカーボン」の記事における「PVDによるDLCの成膜」の解説
PVD法による製法は、スパッタリング法やイオンプレーティング法などがあり、原料である黒鉛を真空中でイオンビーム、アーク放電及びグロー放電等に晒し、飛び散った炭素原子を目的物の試料面に付着させる。この製法では、金属添加のDLCや炭素のみのDLCを作製することも可能である。水素フリーDLCはこの手法で作られる。
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