エピタキシとは? わかりやすく解説

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エピタキシ

別名:エピタキシャル成長
【英】epitaxy

エピタキシとは、単結晶基板上に結晶方位揃った単結晶薄膜成長させる方法のことである。透過電子顕微鏡用の試料作製などに用いられる

エピタキシで得られる薄膜結晶は、バルク結晶比べ結晶性純度ともに優れており、また極めて薄い結晶膜や複雑な多層結晶構造作り出せることから、特に化合物半導体分野では不可欠な技術となっている。原料物質形態成長利用する原理により、気相エピタキシ、液相エピタキシ、分子線エピタキシなどの手法があり、これらの技術用いてエミッタ-ベース間を接合、あるいはコレクタ-ベース間を接合することによってトランジスタ作ることができる。


エピタキシ


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