超高真空の維持機構

ウィキペディア小見出し辞書

超高真空の維持機構

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/10/19 08:06 UTC 版)

「分子線エピタキシー法」の記事における「超高真空の維持機構」の解説

MBE装置の製膜チャンバー内は、所定の清浄度を得るために場合によっては1×10−10Torr以下にまで減圧する場合も珍しくない。このような超高真空を実現するために、下記のような手法が用いられる。