ベーキング機構

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ベーキング機構

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/10/19 08:06 UTC 版)

「分子線エピタキシー法」の記事における「ベーキング機構」の解説

メンテナンスなどで真空を破った場合、チャンバー内壁に大気中の気体や水分などが吸着する。このため、ポンプである程度の真空にした後、さらにチャンバー全体を加熱することでこれらの吸着分子を追い出す作業が行われる。これをベーキングと呼び、このためにヒーター線を外部に巻き付けたり、内部に加熱用のランプヒーターを配したりする場合が多い。