エキシマレーザー

デジタル大辞泉

エキシマ‐レーザー【excimer laser】

読み方：えきしまれーざー

XeCl（キセノン・塩素）、ArF（アルゴン・弗素(ふっそ)）といった励起状態にある二原子分子（エキシマ）を利用するレーザー。紫外線・可視光短波長域のパルスを出力する。

レーシック用語集

エキシマレーザー

生体組織に熱変性(やけど)をほとんど起こすことなく正確に切開・切除ができる特殊な高エネルギーの医療用レーザー。レーシックを初めとする視力矯正手術で用いられます。もとは白内障や眼底手術のために開発されました。1995年10月、アメリカでFDA（アメリカ食品医薬品局）の認可を受けて、このレーザーがレーシック手術で使用されるようになると、レーシックが広く行われるようになりました。現在、世界の様々なメーカーが製造しており、メーカーにより３タイプの照射方法があります。Excimer という言葉はExcited dimerという言葉（励起された２量体という意味の物理化学用語）から生まれた造語です。高い光のエネルギーによって、角膜組織の分子の結合を切り離し、気体に分解することによって、切開･切除を行います。このレーザーの波長は角膜組織でほぼ吸収されてしまうので、ほかの組織を傷つけることはありません。

ウィキペディア

エキシマレーザー

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/10/17 10:03 UTC 版)

エキシマレーザー（Excimer Laser）とは貴ガスやハロゲンなどの混合ガスを用いてレーザー光を発生させる装置である。元々は工業用として利用されていたが、最近ではレーシックなどの視力矯正手術においても利用されている。

概要

貴ガスはアルゴン、クリプトン、キセノンが、ハロゲンはフッ素、塩素が一般に使用される。混合ガス中でのパルス放電によって生成する励起状態貴ガス原子とハロゲン原子によって形成されるエキシマからの放射光によってパルス発振する。

代表的なエキシマレーザーの発振波長は以下のとおりである。

• ArF - 193 nm
• KrF - 248 nm
• XeCl - 308 nm
• XeF - 351 nm

工業用

工業用の用途としては機械加工や半導体製造におけるフォトリソグラフィがある。また薄膜作製方法のひとつであるPLD法にも一般的に用いられている。

眼科用

視力矯正手術（屈折矯正手術）において、エキシマレーザー光は波長が短いため角膜の一部分を必要なだけ正確に除去することが可能である。レーザーといっても熱を発するものではなく、衝撃波がないため熱に弱い角膜組織に悪影響を与えることがない。したがってエキシマレーザーを使ったレーシック手術は痛みをほとんど伴わず、視力回復が早いという特徴がある。アメリカでは1995年にFDA（米国食品医薬品局）によって、日本では2000年1月に厚生省（現・厚生労働省）によってその使用が認可されている。また、エキシマレーザーに発癌性のないことが確認されている。

関連項目

• レーシック

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エキシマレーザー

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2022/06/14 08:38 UTC 版)

「フッ素」の記事における「エキシマレーザー」の解説

エキシマレーザーの発振媒体としてフッ素ガスと希ガスの混合ガスが用いられる。たとえば半導体の露光に用いられるArFレーザーがその代表である。配管にはフッ素との反応で不動態を形成することにより、それ以上腐食が進行しにくい銅などが用いられる。さらにガス漏洩時には迅速にバルブが遮断されるような安全装置も組み込まれている。