エキシマレーザーとは? わかりやすく解説

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エキシマ‐レーザー【excimer laser】

読み方:えきしまれーざー

XeCl(キセノン塩素)、ArFアルゴン弗素(ふっそ))といった励起状態にある二原子分子エキシマ)を利用するレーザー紫外線可視光短波長域のパルス出力する


エキシマレーザー

出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2021/10/17 10:03 UTC 版)

エキシマレーザーExcimer Laser)とは貴ガスハロゲンなどの混合ガスを用いてレーザー光を発生させる装置である。元々は工業用として利用されていたが、最近ではレーシックなどの視力矯正手術においても利用されている。




「エキシマレーザー」の続きの解説一覧

エキシマレーザー

出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2022/06/14 08:38 UTC 版)

フッ素」の記事における「エキシマレーザー」の解説

エキシマレーザーの発振媒体としてフッ素ガス希ガス混合ガス用いられる。たとえば半導体露光用いられるArFレーザーがその代表である。配管にはフッ素との反応不動態形成することにより、それ以上腐食進行しにくいなどが用いられる。さらにガス漏洩時には迅速にバルブ遮断されるような安全装置組み込まれている。

※この「エキシマレーザー」の解説は、「フッ素」の解説の一部です。
「エキシマレーザー」を含む「フッ素」の記事については、「フッ素」の概要を参照ください。

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