エキシマ‐レーザー【excimer laser】
エキシマレーザー
エキシマレーザー
エキシマレーザー
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2022/06/14 08:38 UTC 版)
エキシマレーザーの発振媒体としてフッ素ガスと希ガスの混合ガスが用いられる。たとえば半導体の露光に用いられるArFレーザーがその代表である。配管にはフッ素との反応で不動態を形成することにより、それ以上腐食が進行しにくい銅などが用いられる。さらにガス漏洩時には迅速にバルブが遮断されるような安全装置も組み込まれている。
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