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スパッタリング

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2024/01/15 04:37 UTC 版)

この記事は検証可能な参考文献や出典が全く示されていないか、不十分です。出典を追加して記事の信頼性向上にご協力ください。（このテンプレートの使い方） 出典検索?: "スパッタリング" – ニュース · 書籍 · スカラー · CiNii · J-STAGE · NDL · dlib.jp · ジャパンサーチ · TWL（2015年11月）

1. 絵画などで使われる手法のこと。
2. 真空蒸着に類する薄膜製造の代表的な方法の1つ。
3. 焼き物や炒め物の調理時に発生する急激な油はねの現象。

1と2について本稿で記述する。