成膜

デジタル大辞泉

せいまく【成膜】

読み方：せいまく

物体表面に薄膜を形成すること。特に、半導体チップの製造において、シリコンウエハーの表面に回路となる配線膜や絶縁膜を形成することを指す。

透過電子顕微鏡基本用語集

成膜

【英】：deposition

物理的なスパッタ法や化学的な気相成長法を用いて、固体表面上に薄膜を形成すること。

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