成膜・リフトオフ

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成膜・リフトオフ

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/11/21 16:56 UTC 版)

「フォトリソグラフィ」の記事における「成膜・リフトオフ」の解説

ウェハー上に別の金属や酸化物などを付けたい場合は、真空蒸着やスパッタリング、CVDなどの手法によって成膜する。最後に溶剤などでレジストを除去する際に、レジスト上に成膜された材料も同時に除去される（リフトオフという）ため、ウェハー上に好みのパターンを追加することができる。