フォトリソグラフィ
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2023/01/16 07:47 UTC 版)
フォトリソグラフィ(英語: photolithography)は、感光性の物質を塗布した物質の表面を、パターン状に露光(パターン露光、像様露光などともいう)することで、露光された部分と露光されていない部分からなるパターンを生成する技術。主に、集積回路、プリント基板、印刷版、液晶ディスプレイパネル、プラズマディスプレイパネルなどの製造に用いられる。
- 1 フォトリソグラフィとは
- 2 フォトリソグラフィの概要
- 3 印刷版の製造
Weblioに収録されているすべての辞書からフォトリソグラフィを検索する場合は、下記のリンクをクリックしてください。
全ての辞書からフォトリソグラフィ を検索
- フォトリソグラフィのページへのリンク