ひかり‐リソグラフィー【光リソグラフィー】
読み方：ひかりりそぐらふぃー
光リソグラフィー
同義/類義語：光リソグラフ法, 光マスキング法
英訳・(英)同義/類義語：photolythography
本来はシリコン基板上に電子回路を構築する技術で、光に感受性のマスキング剤を使い、部位特異的に処理を進める方法。DNAチップにもこの原理が応用され、基盤上の任意の部位に任意のヌクレオチドを付加してチップを製作している。
英訳・(英)同義/類義語：photolythography
本来はシリコン基板上に電子回路を構築する技術で、光に感受性のマスキング剤を使い、部位特異的に処理を進める方法。DNAチップにもこの原理が応用され、基盤上の任意の部位に任意のヌクレオチドを付加してチップを製作している。
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