フォトリソグラフィー【photolithography】
フォトリソグラフィ
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出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2023/01/16 07:47 UTC 版)
フォトリソグラフィ(英語: photolithography)は、感光性の物質を塗布した物質の表面を、パターン状に露光(パターン露光、像様露光などともいう)することで、露光された部分と露光されていない部分からなるパターンを生成する技術。主に、集積回路、プリント基板、印刷版、液晶ディスプレイパネル、プラズマディスプレイパネルなどの製造に用いられる。
- 1 フォトリソグラフィとは
- 2 フォトリソグラフィの概要
- 3 印刷版の製造
フォトリソグラフィー
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2017/12/12 06:28 UTC 版)
「ソリッドイマージョンレンズ」の記事における「フォトリソグラフィー」の解説
液浸リソグラフィーと同様にソリッドイマージョン効果を利用しリソグラフパターンの空間分解能を向上させる。半導体の微小部品をウェハ上に作成するときなど用いられる。
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