ポストベークとは? わかりやすく解説

ポストベーク

出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2021/11/21 16:56 UTC 版)

フォトリソグラフィ」の記事における「ポストベーク」の解説

付着したリンス液を加熱によって除去する加熱により、ウェハーとの密着性が良くなる

※この「ポストベーク」の解説は、「フォトリソグラフィ」の解説の一部です。
「ポストベーク」を含む「フォトリソグラフィ」の記事については、「フォトリソグラフィ」の概要を参照ください。

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