ソフトリソグラフィ
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2022/08/10 03:36 UTC 版)
ソフトリソグラフィ(soft lithography)とは微細な鋳型にシリコーン樹脂などの「やわらかいもの」を流し込み、そのまま硬化させることで微細な立体構造を転写する技術[1]。
- ^ a b c d 横尾篤, 生津英夫「新しい微細パタン転写技術 (PDF) 」 『NTT技術ジャーナル / 日本電信電話株式会社 編』第20巻第10号、電気通信協会、2008年10月、 17-20頁、 ISSN 09152318。
- ^ Kumar, Amit and Biebuyck, Hans A and Whitesides, George M (1994). “Patterning self-assembled monolayers: applications in materials science”. Langmuir (ACS Publications) 10 (5): 1498:1511. doi:10.1021/la00017a030.
- ^ マイクロコンタクトプリンティング法
[続きの解説]
「ソフトリソグラフィ」の続きの解説一覧
- 1 ソフトリソグラフィとは
- 2 ソフトリソグラフィの概要
- ソフトリソグラフィのページへのリンク
