ナノリソグラフィ
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ナノリソグラフィ (Nanolithography) はナノテクノロジーの一分野で原子から約100 nmの規模のナノメートルスケールの構造体やパターンの形成に用いられる。ナノリソグラフィは最先端の半導体集積回路（ナノ電子回路）やナノ電気機械システム (NEMS) の製造で活用される。
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「ナノリソグラフィ」の続きの解説一覧
- 1 ナノリソグラフィとは
- 2 ナノリソグラフィの概要
- 3 光学リソグラフィ
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