X線リソグラフィ
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2017/12/22 02:13 UTC 版)
「次世代リソグラフィ」の記事における「X線リソグラフィ」の解説
詳細は「X線リソグラフィ」を参照 X線リソグラフィでは分解能は優れるものの、ステッパーを使用した縮小露光が出来ない。
※この「X線リソグラフィ」の解説は、「次世代リソグラフィ」の解説の一部です。
「X線リソグラフィ」を含む「次世代リソグラフィ」の記事については、「次世代リソグラフィ」の概要を参照ください。
X線リソグラフィ
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/11/20 09:51 UTC 版)
詳細は「en:X-ray lithography」を参照 紫外線露光よりも分解能が高くなる事が期待されるが、縮小露光が出来ないのでマスクの製造が課題になる。
※この「X線リソグラフィ」の解説は、「微細加工技術」の解説の一部です。
「X線リソグラフィ」を含む「微細加工技術」の記事については、「微細加工技術」の概要を参照ください。
ウィキペディア小見出し辞書の「X線リソグラフィ」の項目はプログラムで機械的に意味や本文を生成しているため、不適切な項目が含まれていることもあります。ご了承くださいませ。 お問い合わせ。
- X線リソグラフィのページへのリンク
