lithography

デジタル大辞泉

リソグラフィー【lithography】

読み方：りそぐらふぃー

《「リトグラフィー」とも》

１ 石版印刷。また、その技術。

２ 「フォトリソグラフィー」の略。

リトグラフィー【lithography】

読み方：りとぐらふぃー

⇒リソグラフィー

画像技術用語集

平版印刷

読み：へいはんいんさつ
英語：lithography

水と油が反発する性質を利用して，インクがつく画像部（親油性）とインクがつかない非画像部（親水性）を形成できるようにした版材に画像を形成し，版面にインクと水を交互に与えて印刷する．（参照：オフセット印刷）

IT用語辞典バイナリ

リソグラフィ

【英】Lithography

リソグラフィとは、半導体を製造する際に、基板に光や電子ビームなどで回路パターンを転写する手法のことである。特に露光装置（ステッパ）を指してリソグラフィと呼ぶこともある。

リソグラフィの手法では、光性樹脂の膜が形成された基板上に、光や電子ビームなどで回路パターンを現像し、さらに保護膜としての薄膜を化学加工して、半導体として製造される。半導体の微細化に伴って、使用される光は短波長に移行しており、最近では短波長の限界である極紫外線領域にも達しようとしている。ちなみに、リソグラフィは元々「石版印刷」を意味し、リトグラフィあるいはリトグラフなどとも発音される。

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