出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/11/20 09:51 UTC 版)
「微細加工技術」の記事における「ナノインプリンティング」の解説
詳細は「en:Nanoimprint lithography」を参照 微細加工によってパターンが刻まれたマスクをウエハーに重ねて転写する事で従来のフォトリソグラフィでの露光プロセスを代替する。
※この「ナノインプリンティング」の解説は、「微細加工技術」の解説の一部です。
「ナノインプリンティング」を含む「微細加工技術」の記事については、「微細加工技術」の概要を参照ください。
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