次世代リソグラフィとは? わかりやすく解説

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次世代リソグラフィ

出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2017/12/22 02:13 UTC 版)

次世代リソグラフィ(Next-generation lithography NGL)は次世代の集積回路を製造する技術で定義は時代とともに変遷している。


  1. ^ 自己組織化リソグラフィ技術”. 2017年12月22日閲覧。


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