出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/11/21 16:56 UTC 版)
レジストで描かれたパターンを利用して、目的とする回路などを作成する。ウェハーに用いたものによって工程が異なり、不要な部分を除去したい場合はエッチングを、必要な回路を追加したい場合は成膜・リフトオフの工程となる。
※この「パターン成形」の解説は、「フォトリソグラフィ」の解説の一部です。
「パターン成形」を含む「フォトリソグラフィ」の記事については、「フォトリソグラフィ」の概要を参照ください。
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