三フッ化窒素
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三フッ化窒素(さんフッかちっそ)は化学式 NF3で表される無機化合物。この窒素-フッ素化合物は無色、有毒、無臭、不燃性、助燃性の気体である。半導体化学でエッチングガスとして使われるため、使用は増加傾向にある。
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- 1 三フッ化窒素とは
- 2 三フッ化窒素の概要
- 3 温室効果ガス
- 4 外部リンク
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