光リソグラフィ

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フォトリソグラフィ

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2023/01/16 07:47 UTC 版)

フォトリソグラフィ（英語: photolithography）は、感光性の物質を塗布した物質の表面を、パターン状に露光（パターン露光、像様露光などともいう）することで、露光された部分と露光されていない部分からなるパターンを生成する技術。主に、集積回路、プリント基板、印刷版、液晶ディスプレイパネル、プラズマディスプレイパネルなどの製造に用いられる。