イー‐ディー‐エス【EDS】
読み方：いーでぃーえす
エネルギー分散X線分光法 EDS,EDX: energy dispersive X-ray spectrometry
エネルギー分散形X線分光器 EDS,EDX: energy dispersive X-ray spectrometer
エネルギー分散型X線分光（イーディーエス）
略語：EDS
【英】：energy-dispersive X-ray spectroscopy
試料から発生した特性X線を直接半導体検出器で検出し、電気信号に変えて分光分析する手法。検出した特性X線のエネルギーに比例したパルス電流を生じさせ、これを多チャンネル波高分析器で選別して測定する。波長分散型と比べ軽い元素(B: ボロン以下)は分析できないが、X線の検出効率は高い。照射電流量は波長分散型より少なくてすむので(数pA〜数nA)試料へのダメージは少ない。通常の分解能は〜140eV（Mn: マンガンのKα発光(5.9keV)に対して）程度である。統計誤差で決まる分解能は発生X線のエネルギーEの平方根×√3程度である（生成される電子数nは、バンドギャップエネルギーを〜3eVとして、n〜E/3、統計誤差Δn〜√n。したがって、エネルギー巾（誤差）〜Δn・3＝√E・√3）。最近はBe(ベリリウム)も分解できる検出器も開発されている。定量精度は0.5〜5％である。EDSはEPMA（分光結晶を用いる）に比べて、空間分解能は2桁高いが分析の定量精度は1桁悪い。略称はEDSであるが、EDXともいう。
【英】：energy-dispersive X-ray spectroscopy
試料から発生した特性X線を直接半導体検出器で検出し、電気信号に変えて分光分析する手法。検出した特性X線のエネルギーに比例したパルス電流を生じさせ、これを多チャンネル波高分析器で選別して測定する。波長分散型と比べ軽い元素(B: ボロン以下)は分析できないが、X線の検出効率は高い。照射電流量は波長分散型より少なくてすむので(数pA〜数nA)試料へのダメージは少ない。通常の分解能は〜140eV（Mn: マンガンのKα発光(5.9keV)に対して）程度である。統計誤差で決まる分解能は発生X線のエネルギーEの平方根×√3程度である（生成される電子数nは、バンドギャップエネルギーを〜3eVとして、n〜E/3、統計誤差Δn〜√n。したがって、エネルギー巾（誤差）〜Δn・3＝√E・√3）。最近はBe(ベリリウム)も分解できる検出器も開発されている。定量精度は0.5〜5％である。EDSはEPMA（分光結晶を用いる）に比べて、空間分解能は2桁高いが分析の定量精度は1桁悪い。略称はEDSであるが、EDXともいう。
EDS
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2015/12/17 13:34 UTC 版)
EDS
- Electronic Data Systems - 米国のシステムコンサルティング会社。ヒューレット・パッカード社に買収。
- Extended Data Services - 米国のテレビで使用されるキャプション信号。
- エネルギー分散型X線分析 (Energy Dispersive x-ray Spectroscopy) - 元素分析の手法のひとつ。
- 地球離脱ステージ（Earth Departure Stage, EDS） - NASAの計画したロケットの段階。
- エーラス・ダンロス症候群 - 皮膚疾患の一つ。
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