エスケープピーク

走査電子顕微鏡基本用語集

エスケープピーク　escape peak

EDSのスペクトルに現れるゴーストピークの一種。EDSの場合、入射したX線により、検出器のSiが励起され、本来の特性X線ピークの計数が減ると同時に、SiのX線エネルギー（1.74keV）に相当する低いエネルギー位置にゴーストピークが現れる現象。

関連する用語

• EDS
• ゴーストピーク

透過電子顕微鏡基本用語集

エスケープピーク

【英】：escape peak

EDS分析において、試料から放出されるX線を半導体検出器で検出するとき、半導体検出器に入射したX線のエネルギーの一部が検出器の構成元素であるシリコン(Si)などの内殻電子励起に使われてしまい、その分だけ低いエネルギー位置に小さなピークが現れる。これがであり、スペクトルの解析の際には注意を要する。

関連する用語

• サムピーク

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