エアロック試料交換

走査電子顕微鏡基本用語集

エアロック試料交換　air-lock specimen exchange

試料交換を行うとき、エアロック機構を通して試料交換を行う方法。すなわち、一旦試料を試料交換室に入れて予備排気を行い、ある程度の真空にした後、仕切り弁を開けて試料室に導入する。試料室を大気にすることなく試料交換ができるので、短時間で交換作業ができるだけでなく、試料室に多量の空気を持ち込まずに済むため、良い環境で安定して試料を観察することができる。エアロック機構を用いるため導入できる試料寸法が制限されることがあるが、FESEMでは一般にこの方法が用いられる。

関連する用語

• 試料交換室
• 予備排気
• 仕切り弁
• ドローアウト試料ステージ