静電容量式露点計とは? わかりやすく解説

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静電容量式露点計(酸化アルミ)

出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2020/07/08 02:45 UTC 版)

露点計」の記事における「静電容量式露点計(酸化アルミ)」の解説

酸化アルミ式の静電容量センサは、高分子式と同様の仕組みだが、センサ材質酸化アルミニウム使用している。過去より簡易型露点計標準型として幅広い分野用いられている。低水分領域まで計測可能であるが、応答速度が遅いという問題点がある。他の計測機器同様に結露に弱い為、保管管理する際には対策が必要である。一方で高分子式に比べ測定対象ガスが多い。用途としては、半導体グローブボックス電池製造など常時露点環境等。 測定範囲:-100~+20 td 測定精度:±2 程度GESHAWテクネ計測COSA Xentaur等が代表的なメーカーとして挙げられる

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静電容量式露点計(高分子式)

出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2020/07/08 02:45 UTC 版)

露点計」の記事における「静電容量式露点計(高分子式)」の解説

高分子式の静電容量センサは、周囲気体中の水分反応する誘電体の層をもつコンデンサである。この誘電体の層は、理想的に周囲水分量と同じ比率水分吸収するので、これを利用して水分量を検知している。長所としては、反応速度速く長期安定性があることが挙げられる。しかしその反面、-50 Td以下の低露点領域での測定酸化アルミニウム式と異なり感度が低いので実測先読み融合した計算値を出力している。そのため、自動校正機能がないと精度維持できないまた、結露対策としてセンサに熱をかけ水分溶剤を飛ばすセンサーパージ機能備えたタイプ存在する。但し、経年変化を完全になくしたり、水分溶剤影響を完全に排除できるわけではないので、注意が必要である。 測定範囲:-60~+100 td 測定精度:±2 td程度 ヴァイサラE+E ELEKTRONIKアズビルテクネ計測等が代表的なメーカーとして挙げられる

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