静電容量式露点計（酸化アルミ）
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2020/07/08 02:45 UTC 版)
「露点計」の記事における「静電容量式露点計（酸化アルミ）」の解説
酸化アルミ式の静電容量式センサは、高分子式と同様の仕組みだが、センサの材質に酸化アルミニウムを使用している。過去より簡易型露点計の標準型として幅広い分野に用いられている。低水分領域まで計測可能であるが、応答速度が遅いという問題点がある。他の計測機器と同様に結露に弱い為、保管管理する際には対策が必要である。一方で、高分子式に比べ測定対象ガスが多い。用途としては、半導体、グローブボックス、電池製造など常時低露点環境等。 測定範囲：-100～+20 ℃td 測定精度：±2 ℃程度。 GE、SHAW、テクネ計測、COSA Xentaur等が代表的なメーカーとして挙げられる。
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静電容量式露点計（高分子式）
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「露点計」の記事における「静電容量式露点計（高分子式）」の解説
高分子式の静電容量式センサは、周囲の気体中の水分に反応する誘電体の層をもつコンデンサである。この誘電体の層は、理想的には周囲の水分量と同じ比率で水分を吸収するので、これを利用して水分量を検知している。長所としては、反応速度が速く長期安定性があることが挙げられる。しかしその反面、-50 ℃Td以下の低露点領域での測定は酸化アルミニウム式と異なり感度が低いので実測と先読みを融合した計算値を出力している。そのため、自動校正機能がないと精度を維持できない。また、結露対策としてセンサに熱をかけ水分や溶剤を飛ばすセンサーパージ機能を備えたタイプも存在する。但し、経年変化を完全になくしたり、水分や溶剤の影響を完全に排除できるわけではないので、注意が必要である。 測定範囲：-60～+100 ℃td 測定精度：±2 ℃td程度 ヴァイサラ、E+E ELEKTRONIK、アズビル、テクネ計測等が代表的なメーカーとして挙げられる。
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