出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/03/02 05:37 UTC 版)
被測定対象物と測定プローブ間の静電容量が、それらの距離に応じて変化することを利用して相対変位を測定する変位計。 以下の長所・短所がある。 測定対象の表面仕上げ状態や反射率の影響を受け難い 金属が測定対象のとき、その材質の影響を受けない 高速応答（応答周波数は数十kHz) 測定対象物と測定プローブの距離（作動距離）は数十μm～数mm程度。 測定レンジによってはサブナノメートルの分解能が得られる 測定ギャップの比誘電率の影響を受ける
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